ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品簡介：

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。

產(chǎn)品型號：21V系列

更新時間：2024-11-20

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：928

服務(wù)熱線

4006981718

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

暖通環(huán)保

風(fēng)速風(fēng)向儀風(fēng)機性能測試裝置風(fēng)洞裝置環(huán)境監(jiān)測儀器便攜式氣質(zhì)聯(lián)用儀測距儀定位儀功率計風(fēng)速儀照度計探頭傳感器變送器相序表防潮箱示波器超聲波探傷儀激光對中儀射線儀器轉(zhuǎn)速儀數(shù)顯儀照度儀望遠鏡電導(dǎo)率計檢測儀記錄儀計數(shù)器絕緣電阻測試儀控制器報警儀發(fā)生器動態(tài)校準儀分析儀在線監(jiān)測系統(tǒng) 多參數(shù)水質(zhì)分析探頭水質(zhì)自動監(jiān)測系統(tǒng) 水質(zhì)在線自動分析儀轉(zhuǎn)換器粉塵儀采樣探頭濕度儀監(jiān)測儀揮發(fā)性有機物在線分析儀氨逃逸在線監(jiān)測系統(tǒng) 煙氣排放連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng) 煙氣分析儀紅外熱像儀可燃氣體檢測儀不透光度計汽車尾氣分析儀標(biāo)準測量天線電磁波測試計微波漏能儀場強儀風(fēng)量罩

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產(chǎn)品介紹

美國ALICAT 21V系列帶截止閥質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準工況進行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21V系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器是專為需要緊密關(guān)閉應(yīng)用而設(shè)計的，如真空鍍膜和濺射過程等。該集成氣動切斷閥是常閉的，并且在閉合狀態(tài)下其最大氦氣泄漏率僅為1x10 atm scc/s。

應(yīng)用及案例

● 大學(xué)/研究所

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 半導(dǎo)體

● 光伏

● 過程工藝氣體測量

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特色

數(shù)字化產(chǎn)品
帶氣動截止閥，泄漏率低
多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度：可優(yōu)于0.5%
量程比 200:1
響應(yīng)時間快僅需100ms(可調(diào))
內(nèi)置98種氣體
現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類內(nèi)置了98種氣體，請參考“產(chǎn)品資料下載"中氣體兼容表

一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量程從0-0.5SCCM 到 0-20SLPM

量程比 200：1

最大顯示流量 102.4%FS

顯示屏帶按鍵，標(biāo)準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程

高精度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

閥門泄漏率不超過1x10 atm scc/sec (He)

重復(fù)性 ± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移 0.02% FS / ?C / Atm

響應(yīng)時間 100ms（可調(diào)）預(yù)熱時間：<1s

標(biāo)定工況：25℃ & 100kPa 絕壓、20℃ & 100kPa 絕壓、0℃ & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場可切換)

工作溫度：-10 ～ +50 ℃

工作濕度：0-100%，無冷凝

標(biāo)準最大工作壓力 1MPa 表壓

標(biāo)準極限耐壓 1.2MPa 表壓

中壓選項 2MPa

數(shù)字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓 7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流 250mA ～ 750mA

電氣接口 8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭

材質(zhì) 316L,303&302不銹鋼,Viton,硅膠RTV，玻璃增強尼龍

鋁 ,黃銅,430FR 不銹鋼, 硅，玻璃, PCTFE

安裝方式對位置無要求防護等級：IP40

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需咨詢我們

氣體編碼

ALICAT 帶集成截止閥氣體質(zhì)量流量控制器

* 混合氣體編碼為“800"，選項中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900"。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。

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