ALICAT 氣體質量流量計-低壓損型 20W系列具有超低壓損，滿量程壓損可達480Pa。可用于快速精確地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度適用于多種流量測控場合，尤其是要求低壓損的應用場合。

ALICAT 氣體質量流量計-低壓損型 20W系列產品特色

●  數字化產品
●  多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
●  可選高精度：可優于0.5%
●  可測范圍廣，0.01~100%滿量程

●  滿量程超低壓損為480Pa

●  響應時間快，優于10 ms

●  內置98種氣體

●  可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度        ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質量流量高精度           ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復性                         ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）

質量流量零點漂移       ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質量流量量程漂移       ± 0.01% 讀數 / ℃溫差± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考背面

                   一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可測比    0.01%～100%滿量程

最大顯示流量    128%滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± （0.8%讀數 + 0.2%滿量程） 精度升級部分見左下角

                  ± （0.4%讀數 + 0.2%滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外額外增加±0.5%讀數誤差

重  復  性    ±（0.2%讀數+0.02%滿量程）

質量流量溫度零點和滿量程漂移    0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質量流量壓力零點和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）/ Atm

                 （從校準壓力開始）

響應時間    127 ms（可調）                  

預熱時間    < 1 s

默認標況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

最大工作壓力    0.3 MPa表壓，進出口最大允許瞬時壓差70 Kpa

操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用； 

                          其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ±0.75%讀數（＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@ 19200波特率；模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、

                  Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸出信號    0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4-20mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24 VDC（如選4-20 mA或0-10VDC輸出，須為12-24VDC）

供電電流    40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He 

材       質    302、303不銹鋼、Viton、硅橡膠、環氧樹脂、

                  玻璃增強聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、金

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求                      

防護等級    IP40

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA（可選）

選項配件

●標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
超低壓損
無需預熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
RS-232多點式數字輸入 (僅用于質量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選 (僅用于質量流量控制器)
可調節PID算法 (僅用于質量流量控制器)
內置30種氣體可選
200:1 量程可調比
NPT接頭
可測量和控制從0.5SCCM到500SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保

●可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
ProfiBUS數字信號輸入(僅用于質量流量控制器)
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出 (僅用于質量流量計)
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR、VCO 接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門 (僅用于質量流量控制器)
高流量低壓損閥門 (僅用于質量流量控制器)
集成式電位計控制 (僅用于質量流量控制器)